EDX、EDS、XRF三者皆為X射線熒光光譜。
EDX指的是能量散射型X射線熒光光譜儀，也有人叫EDXRF。
EDS(Energy Dispersive Spectrometer)是能譜儀指的是是電子顯微鏡（掃描電鏡、透射電鏡）的重要附屬配套儀器，結合電子顯微鏡，能夠在1-3分鐘之內對材料的微觀區域的元素分布進行定性定量分析的一種儀器。
XRF（X Ray Fluorescence）XRF指的是X射線熒光光譜儀，指的是通過檢測被測物不同元素所放射出的二次X射線能量、數量個波長來進行定量或者定性分析的一種儀器。
